Introduksjon til gulvpoleringsputer

Materialsammensetningen til gulvslipeputer (også referert til som poleringsputer eller slipeputer) varierer avhengig av tiltenkt bruk og det spesifikke stadiet i bearbeidingsarbeidsflyten.

Poleringsputer-også kjent som CMP-puter eller kjemiske-mekaniske planariseringsputer-tjener som et kjerneforbruk i den kjemiske-mekaniske poleringsprosessen (CMP). De brukes først og fremst for overflateplanarisering av substrater som halvlederskiver. Vanligvis fremstilt av materialer som polyuretan, er disse putene bredt kategorisert-basert på sammensetningen-i typer, inkludert polyuretan, ikke-vevde stoffer, naturlige materialer og komposittmaterialer. Historisk sett har dette markedet vært sterkt monopolisert av utenlandske foretak; innen hjemmemarkedet står Dinglong Co., Ltd. som en representativ bedrift i denne sektoren.

Deres kjernefunksjon under poleringsprosessen innebærer å levere poleringsslurryen, overføre trykk og utøve mekanisk friksjon på waferoverflaten.

Poleringsputer har vanligvis en porøs mikrostruktur, med spesifikke rillemønstre designet i overflatene for å forbedre poleringsensartetheten.

Nøkkelytelsesparametere-som hardhet og rillemønstre-er kritiske egenskaper ved poleringsputer, siden de direkte påvirker både materialfjerningshastigheten og den endelige overflatefinishen.